紫外皮秒激光微加工设备

简介:

该设备采用高功率紫外皮秒激光作为光源,配备高精度光束扫描系统以及自动影像定 位系统,主要针对航空领域碳纤维复合材料(CFRP) 制孔、集成电路领域晶圆开槽以及太 阳能光伏行业 PI 网版切割,可实现各类金属与非金属的高精密加工。

特点:

采用德国进口光源, 长期工作稳定性好

利用激光器的自由触发模式,实现激光脉冲等间距触发

紫外皮秒加工, 无热影响,材料适应性强

人机界面友好, 具有自动校正功能

设备性能稳定, 支持 7 x 24 运行

 

 

主要技术参数:

激光功率:15W/30W

激光波长:355nm

脉冲宽度:ps 级

加工幅面: 515mmx 520mm

X/Y/Z 轴分辨率: 1μm

重复定位精度:≤±1μm

设备尺寸: 1562mmx1660mmx2200mm